中國光刻機(jī)上市公司有智光電氣、飛凱材料、南大光電和藍(lán)英裝備。光刻機(jī)，英文名Mask Aligner，又名掩模對準(zhǔn)曝光機(jī)，曝光系統(tǒng)，光刻系統(tǒng)，是制造芯片的核心裝備，主要廠商有ASML、尼康、佳能、歐泰克、上海微電子裝備、SUSS、ABM Inc。

國內(nèi)光刻機(jī)上市企業(yè)簡介

一、智光電氣（002169）

智光電氣主要從事電網(wǎng)安全與控制設(shè)備、電機(jī)控制與節(jié)能設(shè)備、供用電控制與自動(dòng)化設(shè)備及電力信息化系統(tǒng)研發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)和銷售。公司已建立了以測控技術(shù)、電力電子技術(shù)、通信技術(shù)和應(yīng)用軟件技術(shù)為基礎(chǔ)的核心技術(shù)平臺(tái)，形成了面向電氣控制與自動(dòng)化前沿領(lǐng)域的產(chǎn)品布局。

二、飛凱材料（300398）

公司成立于2002年，總部和研發(fā)中心位于上海市寶山，在安徽省安慶市、廣東省惠州市、江蘇省南京市均建有大規(guī)模生產(chǎn)基地；并在杭州、蘇州、深圳、臺(tái)灣高雄，以及美國舊金山、亞特蘭大、日本、韓國首爾、印度班加羅爾等地設(shè)有辦事機(jī)構(gòu)或聯(lián)絡(luò)點(diǎn)，構(gòu)成了以上海為中心的國內(nèi)外銷售服務(wù)網(wǎng)絡(luò)。

三、南大光電（300346）

3月27日晚間，南大光電發(fā)布了2018年業(yè)績公告。公告中提到，南大光電在報(bào)告期內(nèi)實(shí)現(xiàn)營業(yè)收入22，817.49萬元，同比上升28.76%。電子特氣產(chǎn)品已在LED行業(yè)取得主要的市場份額，并實(shí)現(xiàn)了在IC行業(yè)的快速替代進(jìn)口，得到了廣大客戶的高度認(rèn)可，已成為公司新的利潤增長點(diǎn)。

四、藍(lán)英裝備（300293）

藍(lán)英裝備于2019年4月25日披露年報(bào)，公司2018年實(shí)現(xiàn)營業(yè)總收入17.3億，同比增長28.1%；實(shí)現(xiàn)歸屬于母公司所有者的凈利潤1616.1萬，同比增長124.8%；每股收益為0.06元。19年一季度公司實(shí)現(xiàn)營業(yè)總收入4.1億，同比增長10.8%；歸屬于母公司所有者的凈利潤966.8萬，同比增長4.8%。